150W/13.56MHz射频电源，专用于精密干法清洗与表面活化。内置2L高纯石英腔体，支持手动阻抗匹配（50Ω），电容耦合，真空度≤50Pa。紧凑设计（450×450×360mm），集成射频控制、观察窗（Φ50）及强制风冷系统。
拓展使用场景
半导体/电子：芯片封装前清洗（COG工艺）、PCB除胶、继电器触点活化。
材料改性：塑料/橡胶粘接面活化、陶瓷金属镀膜前处理。
科研医疗：生物传感器清洗、细胞培养器皿亲水化、实验器械灭菌。
教学演示：直观观察等离子体反应过程（通过观察窗）。
核心优势
精密清洗：13.56MHz射频精准控制，避免材料损伤，适配敏感样品（如纳米器件）。
安全灵活：石英腔体耐腐蚀，气体流量可调（0-50ml/min），兼容多种工艺气体。
紧凑高效：一体式机箱节省空间，手动控制简化操作，风冷控温（＜65℃）保障连续运行。
多材质兼容：处理塑料、金属、陶瓷等，解决传统湿法清洗无法处理的微孔结构。
低成本维护：固态电源技术稳定性高，开盖方式（铰链侧开）便于腔体清洁。
差异化亮点：兼顾科研级精度与工业可靠性，小型化设计实验室与生产线之间的设备空白。