等离子清洗实验
摘要：研究了等离子清洗对STO瓷片表面及其电容器电学性能的影响。结果表明等离子清洗能大幅改善样品表面清洁度，并对其绝缘电阻和电容值分别有36%和8%的提升。
一、等离子清洗
二、实验结果
三、结论

二、实验结果

三、结论
研究了等离子清洗对STO绝缘化瓷片表面的影响，并进一步研究了对瓷片电容器（1mm * 1mm）电学性能的影响。结果表明经等离子清洗， STO样品（III-163-165）表面因二次烧结所残留的氧化剂杂质颗粒得到有效清除，STO绝缘电阻值由清洗前的22 GΩ（平均）提升到30 GΩ（平均），电容值由清洗前的960 pF（平均）提升到1038 pF （平均），清洗后样品的绝缘电阻和电容值分别提升了36 %和8.1%。