简介
气体流量计选型主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境.
该气体配比器可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
气体流量计选型主要用于环境气体模拟配比 燃料电池气体加湿 材料表面改性 湿度气敏材料电学信号测试系统可耐0.6MPa 设备通过饱和蒸汽和干空气按比例混合气体输出 出气口无冷凝水 可为气体分析仪 燃料电池 气敏测试腔供气
用途
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
技术参数
产品型号 | KT-C2Z |
产品类型 | 智能控制 触摸屏控制 |
流量量程 | 2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
流量控制方式 | 触摸屏设定流量 |
时间设定 | 0-99999 |
数据导出 | 有 |
程序控制 | 无 （可根据要求写程序) |
压力显示 | 无 (可根据需求添加) |
耐压 | 3MPa |
密封材料 | 金属密封 Metal |
输入输出信号 | (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA, |
电源 | ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC |
阀类型 | 常开或常闭 |
温度系数 | Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
零点飘移指标 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
电气连接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
工作压差范围 | (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm） |
漏率 | 1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He） |
标准接头形式 | 双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型 |
表面化学成分 | CrO thickness ＞20 Angstroms |
表面粗糙度 | 20µinch |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 16KG |
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